全自动槽式湿法设备-cassette less
xtrim-bc-l300
设备概述
efem、chemical baths(spm、hf、sc1、sc2、boe、h3po4……）、qdr、marangoni dryer ， robot、transfer……support tool: cds /lcds
设备亮点
定制化
12”foup lp
适配各类药水
工艺槽体可根据需求定制
精准控制
专业流场、温控设计
精准配液；依工艺选择流量计/计量泵/计量桶/浓度计
精确补液：by片数/时间/浓度
高端配置
配置加热、循环、兆声清洗及浓度在线监控等技术，增强晶圆清洗效果；
配置marangoni dryer确保晶圆干燥，安全生产；
破片侦测
particle 管控优异
cst-less方式；
专业的材质选用；
气体流畅管控系统
先进的干燥系统
智能化的救货系统
过浸泡救货系统
异常断电救货功能