全自动去胶设备
xtrim-sc-st300
设备概述
loadport*4、multi chambers、robot、cdu、e-flow
设备亮点
功能完备
nano-spray、mega-sonic、加热、n2鼓泡、常压/高压diw等基本配置可选。
可根据客户需要搭配对应的药水，如nmp/naoh/ ipa等。
定制化
支持6&8&12 inch wafer。
可根据客户需求进行定制化搭配。
节约药液
配置专业药液循环利用、自动补液、药液控温及排风、排废系统；
支持by片数/时间切换recipe，充分延长药水使用寿命。
污染控制
专业材质选用：实现对particle的高效管控；
封闭式的晶圆加工环境，有效防止化学液雾化及微粒污染。