全自动晶圆盒清洗机
xtrim-fc-a300
设备概述
loadport*3 clean chamber*3 vacuum chamber*3 robot
设备亮点
全流程自动化
自动开盖合盖、晶圆检测、清洗、干燥、抽真空、除湿全自动作业，可与天车系统无缝对接。
兼容性强
无需任何硬件修改即可兼容多种类型的foup/fosb。
工艺性能优异
particle、amc（含voc）、outgassing控制。
n2 purge 控制foup内部湿度。
产能高
每小时可清洗25至30个产品