全自动晶圆盒清洗机-pg电子麻将胡了

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全自动晶圆盒清洗机

xtrim-fc-a400

设备概述

适用于frame foup的全自动清洗，设备有专用的load/unload;支持rfid等全自动清洗和管理。

设备亮点

设备特点

1、支持amhs，全自动清洗;

2、兼容各种品牌的frame foup;

3、低coo;

4、定制化喷嘴设计，确保清洁效果;